Perfluorobutadiene (C4F6) 10 kg

Perfluorobutadiene (C4F6, hexafluorobutadiene, hexafluoro - 1,3 - butadiene) come un effetto serra GWP estremamente basso, ecologico gas di gravura a secco ad alta efficienza, utilizzato per l'incorporamento del plasma dei prodotti a semiconduttore, con una velocità di gravura più veloce, una maggiore selettività e una maggiore precisione, più adatto per il processo di gravura ad alto rapporto di profondità e larghezza.

Il perfluorobutadiene (C4F6) è un gas incolore, inodore e insolubile in acqua, con un punto di ebollizione di 5,9 ° C. Il perfluorobutadiene è un 'olefina coniugata contenente sei atomi di fluoro e due doppi legami carbonio-carbonio, come un eccellente gas di gravura, a causa del suo rapporto F / C unico, rispetto all' uso tradizionale di perfluorobutadiene e gas di gravura fluorocarbonio, il perfluorobutadiene ha una più alta selettività di gravura, precisione e rapporto d'aspetto, può gravare circuiti elettronici inferiori a 100nm o anche più stretti. Inoltre, C4F6 ha un più alto rapporto di selezione di fotoresistenza e nitruro di silicio rispetto a C4F8, che può migliorare la stabilità dell 'incorporazione, migliorare la velocità di incorporazione e l'uniformità, migliorando così il tasso di eccellenza del prodotto.

Peso molecolare 162.03
ODP 0
290 GWP (100 anni)
Tempo di permanenza nell 'atmosfera (giorni) < 1
punto di ebollizione（℃）6
Punto di congelamento（℃） -130
Temperatura critica（℃） 139.6
Pressione critica (bar) 31.9
Densità del liquido（15℃，kg/l） 1.44
Densità di vapore（kg/m3,@15℃） 6.8
Pressione di vapore（25℃，bar） 2.11
Calore latente di vaporizzazione (al punto di fusione, 1.013 bar, kJ / kg) 161,8
Intervallo infiammabile in aria (% vol) 7 - 73

Imballaggio di perfluorobutadieno:
Il modello del cilindro è B10, le dimensioni 14cm × 83cm, il volume interno 10.1L, il peso lordo 14.7kg, il carico utile 10kg. L'imballaggio può essere modificato in base alle richieste degli utenti