シリコンウェーハ洗浄剤

概要

シリコンウェーハ洗浄剤は、AとBの2つの部分で構成され、2：1に従って使用され、効果は非常に顕著で、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどの太陽光発電産業シリコンウェーハの洗浄に適しています。

製品の特長

経済性：濃縮製品、低濃度希釈使用、低平均洗浄コスト。

2.効率性：脱脂油除去効果が良く、結合能力が強く、洗浄清浄度が高い。

3低泡性：本製品は低泡性を有し、浸漬、超音波、スプレーなどの洗浄プロセスに適しています。

技術パラメータ

技術パラメータ 規格の実装

1 外観は 無色透明の液体 無色透明の液体 視覚的に

2 比重（20 ° C） 1.205±0.015 1.035±0.015 GB/T13377-2010

3 pH（25℃） 13.0±0.5 1.5±0.5 ASTM E70

4 洗浄温度の変化 50-60℃ 50-60℃ Q/OCKX001-2007 

適用範囲は

本製品は単結晶シリコン、多結晶シリコンなどの油濁、懸濁液、酸化層などの洗浄にのみ適しており、単結晶シリコンウエハの製造には適していない。

使用方法は

1作業液100キロ当たり3-6キロのシリコンウェーハ洗浄剤濃縮液（A B=2 1）を添加することを推奨し、洗浄しにくいまたは油が比較的重いウェーハに対しては、適切に状況に応じて中間に洗浄剤を添加することができ、洗浄効果を保証するために、各クラスに交換することを推奨し、脱イオン水を使用して作業液を配置することを推奨する。

2一般的に、ウェーハ洗浄剤のキログラムあたり125 #単結晶ウェーハ2500枚以上を処理することができ、添加するときは、この割合に応じて計算することができ、研削ペーストウェーハと懸濁液切断ウェーハの回収に遭遇するときは、薬剤の量を適切に増やす必要があります。もちろん、ウェーハ歩留まりを確保する場合には、添加量を適切に減らすこともできます。

4シリコンウエハは、洗浄時に空気中に露出する時間をできるだけ短くし、花の発生を防止します。

5.シリコンウェーハの洗浄は、次の洗浄プロセスで行うことをお勧めします。1槽目の純水/クエン酸（乳酸）前洗浄、2槽目の純水、3槽目の洗浄。 ES-37 5;スロット4 ES-37 5;スロット5 純水（後に一般的に3-4槽の純水で洗浄）。

注意事項について

1線切断後の結晶棒は水に浸してはいけません。時間内に洗浄できない場合は、まず懸濁液または洗浄剤に保管するのが最善です（完全に浸漬）。

2線切断後の結晶棒は、一度上に洗浄したら、すぐに処理しなければならない。また、洗浄プロセス全体でシリコンを自然乾燥させることはできません。

脱ガム時はシリコンを湿らせ、自然乾燥しないでください。

各洗浄サイクル（シフトの交換など）が完了した後、5、6、7、8槽の水タンクを完全に交換します。

シリコン洗浄の清浄度を確保するためには、脱脂前のスプリンクラー時間は30分以上に制御するのが最善です。

6.作業中は4時間ごとに検出する必要がありますが、アルカリ度が低下したり、洗浄が汚れた場合は速やかに添加して作業液の効果を確保します。

梱包：

25kg/バレル、200kg/バレルプラスチック製の樽包装。

貯蔵寿命：

2年目。