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八氟环丁烷
八氟环丁烷
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乌拉
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八氟环丁烷
蚀刻液
电子特气
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八氟环丁烷(C4F8)是一种不易燃,无色,无味,无味的气体,在自身的蒸汽压力下作为液化气体运输。
八氟环丁烷
(C4F8)主要用于食品工业的喷射剂、
制冷剂
、集成电路蚀刻剂,与
六氟化硫
混合作电介质、含氟化合物聚合时的介质。 八氟环丁烷(C4F8)在半导体制造中用作二氧化硅或硅层的等离子蚀刻,具有极好的选择性。
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