六氟异丁烯(2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯;HFIB)作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体,可应用于半导体的前段刻蚀。
CAS号 382-10-5
分子式 C4H2F6
分子量 164.05
沸点(101.325kPa,℃) 14.5
溶解度(23℃, g/L) 0.23
密度(101.325kPa,g/cm3) 1.39
六氟异丁烯包装规格:4.64L/10.2L/44L钢瓶
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