六氟异丁烯（2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯；HFIB）作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
CAS号 382-10-5
分子式 C4H2F6
分子量 164.05
沸点（101.325kPa，℃） 14.5
溶解度（23℃, g/L） 0.23
密度(101.325kPa，g/cm3) 1.39
六氟异丁烯包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶
CAS号 382-10-5
分子式 C4H2F6
分子量 164.05
沸点（101.325kPa，℃） 14.5
溶解度（23℃, g/L） 0.23
密度(101.325kPa，g/cm3) 1.39
六氟异丁烯包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶
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