R14安全技术说明书(MSDS)

1 化学品及企业标识

1.1 产品标识符

化学品中文名称	四氟甲烷（四氟化碳）
化学品英文名称	Tetrafluoromethane (Carbon Tetrafluoride)
商品名/别名	R14、CFC-14、PFC-14、Freon 14、四氟化碳、全氟甲烷（CF₄）
CAS号	75-73-0
UN编号	1982（压缩气体）
危险货物编号	第2.2类非易燃无毒气体
分子式	CF₄
分子量	88.00 g/mol
主要用途	超低温制冷剂、半导体蚀刻气体、电气绝缘气体、激光气体等

1.2 安全技术说明书的生产者、供应商信息

供应商名称	杭州乌拉化工有限公司
企业英文名称	Hangzhou Wula Chemical Co., Ltd.
企业地址	浙江省杭州市余杭区龙潭路7号
邮政编码	311100
联系电话	0571-87024025
传真号码	0571-87024025
电子邮箱	safety@wulachem.cn

1.3 应急咨询电话

国家化学事故应急咨询专线：0532-83889090（24小时）

浙江省化学事故应急咨询：0571-88071797

供应商应急联系电话：0571-87024025

2 危险性概述

2.1 GHS危险性类别

危险性分类：

加压气体（物理危害） — 压缩气体

注：本品属ASHRAE A1级（低毒不可燃），基本无毒（LC₅₀ >500,000 ppm），主要危害为高压气体物理危险和窒息。本品蒸气压极高（25℃时3800 kPa），且临界温度极低（-45.6℃），常温下为压缩气体。GWP高达7390，为极强温室气体。

2.2 GHS标签要素

GHS04 加压气体

信号词：警告

危险性说明（Hazard Statements）：

H280 内装加压气体；遇热可能爆炸。

防范说明（Precautionary Statements）：

P102 必须在阅读并了解所有安全预防措施之后才可操作。
P410+P403 防日晒。存放在通风良好处。

2.3 其他危险性

气体比空气重（约为空气的3.0倍），能在较低处扩散到相当远的地方，造成缺氧环境（窒息危害）。
本品不燃，但在高温下（>1000℃）可分解产生有毒的氟化氢等气体。
钢瓶内压极高（25℃时3800 kPa），受热后压力进一步增大，有开裂和爆炸的危险。
临界温度极低（-45.6℃），常温下无法液化，以压缩气体形式储存，压力远高于一般液化气体。
本品GWP高达7390，为极强温室气体，应严格控制排放。

3 成分/组成信息

3.1 物质/混合物

本产品为纯物质。

3.2 成分信息

组分名称	CAS号	浓度（质量分数）
四氟甲烷	75-73-0	≥99.9%（半导体级≥99.999%）

3.3 杂质信息

杂质项目	工业级	电子级（半导体级）
酸度（以HF计）	≤0.1 ppm	≤0.01 ppm
水分	≤10 ppm	≤1 ppm
空气（N₂+O₂）	≤100 ppm	≤5 ppm
CO₂	≤50 ppm	≤1 ppm
其他氟碳化合物	≤500 ppm	≤5 ppm

4 急救措施

4.1 必要的急救措施描述

一般建议：立即将患者撤离污染区域，保持温暖和安静。向现场医生出示此安全技术说明书。

吸入：

迅速将患者转移至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给予吸氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸（建议使用球囊面罩或口袋面罩，避免口对口）。
如心跳停止，立即进行心肺复苏（CPR）。
注意保暖和休息，密切观察病情。
立即就医。本品为简单窒息剂，主要危害为缺氧窒息。

皮肤接触（冻伤/高压气体喷射伤）：

高压气体喷射可导致皮肤冻伤和组织穿透伤。
立即用大量温水（37~40℃）冲洗冻伤部位，促进复温。
禁止使用热水（>40℃）或直接加热（如电热器）。
避免摩擦冻伤部位，以免加重组织损伤。
用无菌敷料覆盖创面。
立即就医。高压气体喷射伤可能造成深部组织损伤，需专业医疗评估。

眼睛接触：

高压气体喷射可导致眼睛冻伤和机械性损伤。
立即翻开眼睑，用大量流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟。
如有隐形眼镜，在冲洗前取出（如可行）。
立即就医，最好是眼科医生。

食入：

不适用。本品为压缩气体，不会经食入途径暴露。

4.2 最重要的症状和健康影响

窒息：本品为简单窒息剂，高浓度可置换空气中的氧气，导致缺氧。症状包括呼吸急促、眩晕、头痛、恶心、意识丧失、死亡。
皮肤接触高压气体喷射：冻伤、组织穿透伤、气栓（罕见但严重）。
眼睛接触高压气体喷射：严重冻伤、角膜损伤、视力障碍。

4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示

医生须知：

对症支持治疗，保持呼吸道通畅，必要时给予氧气。
本品基本无毒，主要危害为窒息。纠正缺氧是首要治疗目标。
高压气体喷射伤可能导致深部组织损伤和气栓，需仔细评估并密切观察。
冻伤按常规冻伤处理，温水（37~40℃）复温，严禁干热或摩擦。
如怀疑气栓症（高压气体穿透皮肤进入血管），应考虑高压氧治疗。

5 消防措施

5.1 灭火介质

适用灭火剂：本品不燃，根据周围火灾情况选择适当的灭火剂。可使用二氧化碳、干粉、雾状水、泡沫。

不适用灭火剂：无特殊禁忌。

5.2 特别危险性

本品不燃，无闪点，无爆炸极限。化学性质极为惰性。
在极高温度下（>1000℃）可缓慢分解，产生有毒的氟化氢（HF）等气体。
钢瓶内压极高（25℃时3800 kPa），受热后压力急剧升高，可能导致钢瓶爆裂，碎片可高速飞溅造成严重伤害。
在高温下可与活泼金属（锂、钠等）发生反应。

5.3 有害燃烧产物

氟化氢（HF）、其他含氟化合物（仅在极高温度下）

5.4 灭火注意事项及防护措施

消防人员必须佩戴正压自给式呼吸器（SCBA），穿全身防火防毒服。
尽可能将容器从火场移至空旷处。
大量喷水冷却火场中的容器，直至灭火结束。
处在火场中的容器若已变色或从安全泄压装置中发出声音，必须立即撤离至安全距离。
隔离事故现场，禁止无关人员进入。
钢瓶爆裂时碎片可高速飞溅，消防人员须保持安全距离并利用掩体防护。

高压警示：R14在25℃时蒸气压高达3800 kPa（约38 atm），远高于一般制冷剂。钢瓶受热时内压急剧升高，爆裂风险极高。储存和运输过程中必须严格控制温度，严禁曝晒和接近热源。

6 泄漏应急处理

6.1 人员防护措施、防护装备和应急处置程序

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员佩戴自给正压式呼吸器（SCBA），穿一般作业工作服，戴防护手套和护目镜。
从上风处进入现场。
尽可能切断泄漏源。注意高压气体喷射危险。
禁止接触或跨越泄漏物。
切勿将高压气体阀门对准人体。
配备应急联络人员，随时准备外部支援。

6.2 环境保护措施

防止气体进入下水道、地下室或密闭空间。
合理通风，加速扩散。
大量泄漏时应注意控制极强温室气体排放，尽量回收处理。
避免排放至大气中（GWP=7390）。

6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料

少量泄漏：加强通风，加速气体扩散。注意监测氧含量，防止窒息。
大量泄漏：
- 关闭泄漏源阀门（如安全可操作）。
- 使用专用高压气体回收装置进行回收。
- 如无法回收，可通过通风稀释至安全浓度。
钢瓶泄漏处置：将钢瓶移至通风安全处，缓慢释放；若阀门无法关闭，联系供应商专业处理。高压气体泄漏时勿靠近泄漏点正面。

6.4 参考

参见第8部分（接触控制/个体防护）和第13部分（废弃处置）。

特别警示：R14气体密度约为空气的3.0倍，会在低洼处和密闭空间积聚，造成缺氧环境（窒息危害）。进入密闭空间或低洼处前必须检测氧含量（≥19.5%），并有人监护。本品为高压压缩气体，泄漏时具有高压喷射危险。

7 操作处置与储存

7.1 操作注意事项

密闭操作，提供良好的自然通风或局部排风条件。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程，持证上岗。
防止气体泄漏到工作场所空气中。
特别注意高压气体操作安全：开启阀门时缓慢操作，切勿将阀门出口对准人体。
使用高压气体专用调压器和管路，确保耐压等级满足要求。
搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损，严禁抛、滑、滚、碰。
配备泄漏应急处理设备。
工作场所严禁吸烟、进食和饮水。
使用防爆型的通风系统和设备。
定期检查钢瓶、阀门和管路的密封性和耐压性。
钢瓶必须配备安全帽和防震圈。

7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性

储存于阴凉、干燥、通风的不燃气体专用库房。
库房温度不宜超过30℃，远离火种、热源，避免阳光直射。高压气体对温度敏感性强。
应与易燃气体、氧化剂、活泼金属分开存放。
储区应备有泄漏应急处理设备。
钢瓶应直立存放，戴好瓶帽和防震圈，妥善固定，防止倾倒。
采用防爆型照明、通风设施。
储存区应设置明显的安全警示标志。
实行双人收发、双人保管制度。
库房应设置高压气体浓度监测和氧含量监测装置。

7.3 特定用途

仅限工业用途，使用人员必须经过专业培训。主要用于超低温制冷、半导体蚀刻工艺、电气绝缘等。禁止用于食品直接接触、医疗吸入等未经批准的用途。注意：本品为极强温室气体（GWP=7390），应严格控制排放和泄漏。

8 接触控制/个体防护

8.1 职业接触限值

中国职业接触限值（OEL）	未制定法定限值。本品为简单窒息剂，建议工作场所氧含量不低于19.5%
美国ACGIH TLV-TWA	未制定特定限值（简单窒息剂）。建议参考氧含量限值
美国OSHA PEL-TWA	未制定（简单窒息剂）
生物接触限值	未制定

注：本品为简单窒息剂，本身基本无毒，主要危害为高浓度下置换空气中的氧气导致窒息。控制措施应以监测工作场所氧含量（≥19.5%）为主。

8.2 监测方法

气相色谱法（GC-TCD或GC-MS）、红外光谱分析法（NDIR）、氧含量监测仪

8.3 工程控制

生产过程密闭，全面通风或局部排风。
提供安全淋浴和洗眼设备。
在可能发生泄漏的场所设置氧含量检测报警器（低限19.5%）。
采用防爆电器设备。
高压管路系统需配备安全泄压装置和压力监测仪表。

8.4 个体防护装备

呼吸系统防护：

一般情况下（氧含量正常）：不需要特殊防护。
氧含量低于19.5%或浓度不明时：应佩戴正压自给式呼吸器（SCBA）或供气式呼吸器。
进入高浓度区域或紧急抢救时：必须佩戴正压自给式呼吸器（SCBA）。

眼睛防护：

一般操作：戴安全防护眼镜。
操作高压气体时：必须戴化学安全防护护目镜或面屏，防止高压气体喷射伤。

皮肤防护：

手部防护：操作高压阀门和管路时戴防护手套。
身体防护：穿一般作业工作服。
其他：工作现场严禁吸烟；进入罐、限制性空间作业须有人监护并检测氧含量。

8.5 卫生措施

工作后及时脱去污染衣物，洗净皮肤。
保持良好的个人卫生习惯。
工作场所配备洗眼器和紧急喷淋装置。

9 理化特性

9.1 基本理化性质

外观与性状	无色无味气体；常温常压下为气态。化学性质极为惰性
气味阈值	无气味
pH值	无意义（气体）
熔点 / 凝固点	-183.6 ℃（-298.5 ℉）
沸点/沸程（101.3 kPa）	-128 ℃（-198.4 ℉）
闪点	无（不燃气体）
蒸发速率	无可用数据
易燃性（气体）	不燃
爆炸上限/下限	无意义（不燃气体）
蒸气压（25℃）	3800 kPa（极高，约37.5 atm）
蒸气密度（25℃，1 atm）	3.62 g/L（约3.0，比空气重）
气体相对密度（空气=1）	约3.0
溶解性	极微溶于水（25℃时约0.0015 g/L）；微溶于乙醇、乙醚
辛醇/水分配系数（log P）	约1.2
自燃温度	无意义（不燃）
分解温度	>1000℃开始缓慢分解
黏度（气体，25℃）	约17.3 μPa·s
导热系数（气体，25℃）	约0.0159 W/(m·K)

9.2 热力学性质

临界温度	-45.6 ℃（-50.1 ℉）（极低，常温下无法液化）
临界压力	3740 kPa（3.74 MPa / 543 psia）
临界密度	0.63 g/cm³
汽化热（沸点下）	136 kJ/kg
气体比热（25℃，定压）	0.707 kJ/(kg·℃)
亨利定律常数（25℃）	无可用数据

9.3 其他安全数据

ASHRAE安全级别	A1（低毒不可燃）
臭氧消耗潜能值（ODP）	0（不破坏臭氧层，详见第12.6节）
全球变暖潜能值（GWP，100年）	7390（极强温室气体，详见第12.6节）

10 稳定性和反应性

10.1 反应性

化学性质极为惰性，常温常压下不易发生任何化学反应。是最稳定的有机化合物之一。

10.2 化学稳定性

在正常温度和压力下极为稳定。即使在高温下也具有较高的热稳定性。

10.3 危险反应的可能性

在极高温度下（>1000℃）可缓慢分解，产生有毒的氟化氢等。
在高温下可与活泼金属（如液锂、液钠等）发生反应。
在极端条件下（如等离子体、电弧）可与某些材料反应。

10.4 应避免的条件

高温、明火、电弧、直接热源、钢瓶超压

10.5 禁配物

活泼金属（锂、钠、钾等，尤其在高温或熔融状态下）、强还原剂

10.6 危险的分解产物

氟化氢（HF）、其他含氟化合物（仅在极高温度下）

10.7 聚合危害

不会发生聚合反应。

11 毒理学信息

11.1 急性毒性

大鼠吸入LC₅₀（4小时）	>500,000 ppm（基本无毒，实际测试最高浓度）
兔经皮LD₅₀	无数据（气体物质）

注意：R14基本无毒（LC₅₀ >500,000 ppm），其主要健康危害为简单窒息（高浓度下置换空气中的氧气导致缺氧），而非化学毒性。

11.2 皮肤刺激/腐蚀

气体状态下无皮肤刺激/腐蚀性。高压气体喷射可造成物理性冻伤和机械性损伤。

11.3 眼睛刺激/腐蚀

气体状态下无眼睛刺激/腐蚀性。高压气体喷射可造成物理性冻伤和机械性损伤。

11.4 呼吸道或皮肤过敏

无致敏性报告。

11.5 生殖细胞致突变性

无可用数据。基于其化学惰性，预计无致突变作用。

11.6 致癌性

无证据表明具有致癌性。

IARC（国际癌症研究机构）：未列入
ACGIH（美国政府工业卫生学家会议）：未列入
EPA（美国环保署）：未列入致癌物分类

11.7 生殖毒性

无可用数据。基于其化学惰性，预计无生殖毒性。

11.8 特异性靶器官系统毒性-一次接触

无特异性靶器官毒性。本品为简单窒息剂，高浓度暴露的唯一效应为缺氧引起的中枢神经系统症状（眩晕、头痛、意识丧失）。

11.9 特异性靶器官系统毒性-反复接触

反复接触未见靶器官毒性。基于其化学惰性，预计无反复接触毒性。

11.10 吸入危害

本品为简单窒息剂，主要危害为高浓度下置换空气中的氧气导致缺氧窒息。不引起化学性肺损伤或吸入性肺炎。窒息症状随氧含量降低而加重：16-19%时呼吸加快、注意力下降；10-14%时判断力受损、眩晕；6-10%时恶心呕吐、意识丧失；<6%时可在短时间内致死。

12 生态学信息

12.1 生态毒性

鱼类急性毒性（LC₅₀，96h）	无可用数据（化学惰性，预计低毒）
溞类急性毒性（EC₅₀，48h）	无可用数据
藻类生长抑制（EC₅₀，72h）	无可用数据
细菌毒性	无可用数据

12.2 持久性和降解性

大气中降解：极为持久，大气寿命约50,000年。几乎不与羟基自由基反应，极难自然降解。
生物降解性：不可生物降解（化学惰性）。
水解：不水解（化学惰性）。
光解：极难光解。

12.3 生物蓄积潜力

log P = 1.2，生物蓄积性极低（低于生物富集阈值log P=4.5）。

12.4 土壤中的迁移性

气体状态下极易挥发，在水中几乎不溶。进入土壤后迅速挥发至大气。

12.5 PBT和vPvB评价结果

本品在环境中极为持久（大气寿命约50,000年），但生物蓄积性低且毒性低，严格意义上不满足PBT标准中的毒性(T)和生物蓄积性(B)要求，但属于超持久性物质（vP）。

12.6 其他环境有害作用

臭氧消耗潜能值（ODP）：0（不破坏臭氧层，非ODS物质）
全球变暖潜能值（GWP，100年时间尺度）：7390（相对于CO₂=1，极强温室效应，属PFC类全氟碳化物）
本品为极强温室气体，大气寿命约50,000年，对全球变暖有极长期的累积影响。
本品属于全氟碳化物（PFC），列入《京都议定书》和《巴黎协定》温室气体管控清单。
大量释放会对全球气候产生严重影响，应严格控制排放，优先回收利用。

13 废弃处置

13.1 废物处理方法

产品/残留物：

严禁直接排放至大气中（极强温室气体，GWP=7390，大气寿命约50,000年）。
优先采用回收再生方式处理，经净化提纯后循环使用（推荐方案）。
不能回收的，应送至有资质的危险废物处理机构处置。
可采用高温焚烧法或等离子体分解法处理，分解产物通过碱性洗涤器吸收除去。
禁止排入下水道、水体或土壤。

污染的包装：

空钢瓶应交回供应商或有资质的单位处理，不得擅自丢弃或切割。
空钢瓶仍有残余高压气体时，按危险废物管理。

13.2 废弃注意事项

处置前应参阅国家和地方有关法规，如《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》等。
操作人员应佩戴相应的个人防护装备（见第8部分）。
确保通风良好，防止人员窒息。
废弃处置应由具备相应资质的单位进行。
应保留废弃处置记录。

14 运输信息

14.1 联合国危险货物编号（UN号）

1982（四氟甲烷，压缩气体）

14.2 联合国运输名称

中文：四氟甲烷

英文：TETRAFLUOROMETHANE

14.3 运输危险性分类

第2.2类非易燃无毒气体

14.4 包装类别

不适用（第2类气体无包装类别划分）

14.5 包装标志

主要危险性标志：非易燃无毒气体标志（绿色，2.2类）
副危险性标志：无

14.6 包装方法

钢质高压气瓶（无缝钢瓶），钢瓶必须符合GB 5099《钢质无缝气瓶》等相关国家标准，耐压等级须满足高压要求。
常见包装规格：10L、20L、40L、50L高压钢瓶；长管拖车（ISO罐式集装箱不适用，因常温下不可液化）。
气瓶阀出口螺纹方向：非易燃无毒气体为右旋。
充装压力：通常15 MPa（150 bar），需使用高压气瓶和阀门。

14.7 不同运输方式的特殊要求

道路运输（GB/T 12268）：

运输车辆应具有危险货物运输资质。
钢瓶必须戴好瓶帽和防震圈。
钢瓶一般平放，瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆防护栏板。
夏季应早晚运输，防止日光曝晒（高压气体对温度极敏感）。
按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。

铁路运输（铁路危险货物运输规则）：

禁止溜放。
棚车运输，钢瓶直立或平放固定。

海洋运输（IMDG规则）：

UN 1982，第2.2类
海洋污染物：否
积载类：A（可舱面或舱内积载），须远离热源

航空运输（ICAO/IATA DGR）：

UN 1982，第2.2类
非易燃无毒气体
客机/货机均可运输（须符合包装数量限制和高压气瓶要求）

14.8 运输注意事项

严禁与氧化剂、活泼金属、食用化学品等混装混运。
运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
运输从业人员必须经过专门培训，持证上岗。
运输途中应防曝晒、雨淋，防高温（高压气体对温度敏感性强，温度升高导致压力急剧增大）。
中途停留时应远离火种、热源、高温区。
装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置。
装卸时应轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
运输过程中不得撞击钢瓶，高压气体钢瓶破损后果严重。

15 法规信息

15.1 中国法规

《危险化学品安全管理条例》（国务院令第591号）：危险化学品生产、储存、使用、经营和运输的安全管理
《危险化学品目录》（2015版）：列入管理
《化学品分类和标签规范》（GB 30000系列）：GHS分类和标签标准
《化学品安全技术说明书内容和项目顺序》（GB/T 16483-2008）：MSDS编制标准
《工作场所安全使用化学品规定》（[1996]劳部发423号）：工作场所化学品安全使用
《工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素》（GBZ 2.1-2019）
《气瓶安全技术规程》（TSG 23-2021）：气瓶安全管理（高压气瓶特别要求）
《道路危险货物运输管理规定》：危险货物道路运输管理
《中华人民共和国安全生产法》：安全生产管理
《中华人民共和国大气污染防治法》：大气污染防治，含温室气体管控
《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》：固体废物和危险废物管理
《消耗臭氧层物质管理条例》：不属于受控物质（ODP=0），但属极强温室气体

15.2 国际法规

联合国GHS（全球化学品统一分类和标签制度）：第8修订版
《蒙特利尔议定书》：不属于受控消耗臭氧层物质（ODP=0）
《京都议定书》/《巴黎协定》：列入温室气体清单（PFC类全氟碳化物，GWP=7390）
欧盟REACH法规（EC 1907/2006）：列入注册物质
欧盟CLP法规（EC 1272/2008）：分类、标签和包装法规
欧盟F-Gas法规（EC 517/2014）：含氟温室气体管控
美国EPA：PFC类温室气体，纳入温室气体报告规则（40 CFR 98）
美国OSHA HCS 2012：危险性沟通标准
美国DOT 49 CFR：危险货物运输法规
ADR/RID：欧洲道路/铁路危险货物运输协定
IMDG Code：国际海运危险货物规则
IATA DGR：国际航空运输协会危险货物规则

16 其他信息

16.1 参考文献

NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards
International Chemical Safety Card (ICSC)
NOAA CAMEO Chemicals Database
PubChem Compound Database (CID 6393)
ASHRAE Handbook - Refrigeration Systems and Applications
GB/T 16483-2008《化学品安全技术说明书内容和项目顺序》
GB 30000系列《化学品分类和标签规范》
联合国《全球化学品统一分类和标签制度》(GHS) 第8修订版
IPCC Fifth Assessment Report (温室气体GWP数据)

16.2 缩略语说明

缩略语	全称
SDS/MSDS	安全技术说明书 / 化学品安全技术说明书
GHS	全球化学品统一分类和标签制度
CAS	化学文摘社（编号）
UN	联合国（危险货物编号）
ODP	臭氧消耗潜能值
GWP	全球变暖潜能值
PFC	全氟碳化物
CFC	氯氟烃
LC₅₀	半数致死浓度
LD₅₀	半数致死剂量
TLV-TWA	阈限值-时间加权平均值
PEL	容许接触限值
SCBA	自给式呼吸器
PBT	持久性、生物蓄积性和毒性

16.3 免责声明

本安全技术说明书（SDS）根据GB/T 16483-2008和联合国GHS标准编制，旨在提供产品的安全使用、操作和处置指导。该信息仅作为安全操作指南，不构成对产品规格或性能的保证。使用者应根据具体使用场景和当地法规要求判断其适用性，并采取必要的安全防护措施。对于因使用本说明书信息而造成的任何直接或间接损失，编制方不承担法律责任。本文件中的数据可能随新的研究成果和法规变化而更新，建议定期查阅最新版本。

R14安全技术说明书MSDS