オクタフルオロシクロブタンC4F8は、不燃性、、无味、无味のガスであり、それ自体の蒸気圧下でガスとして运ばれる。
オクタフルオロシクロブタンC4F8冷媒とは集積回路エッチング剤、および六フッ化硫黄誘電体、フッ素化合物の重合時の誘電体として混合する。 オクタフルオロシクロブタン（C4F8）は、半導体製造におけるシリカ又はシリコン層のプラズマエッチングとして使用され、優れた選択性を有する。
オクタフルオロシクロブタンC4F8冷媒とは集積回路エッチング剤、および六フッ化硫黄誘電体、フッ素化合物の重合時の誘電体として混合する。 オクタフルオロシクロブタン（C4F8）は、半導体製造におけるシリカ又はシリコン層のプラズマエッチングとして使用され、優れた選択性を有する。
製品について質問する
注意: HTMLタグは使用できません!
