R41モノフルオロメタン、フルオロメタン41、-41は、フルオロブロモメタンをする原料である。
高純度HFC-41ガスは、シリコン化合物の薄膜を選択的にエッチングすることができるグリーンで効率的な新しいエッチングガスであり、半導体や電子製品のエッチングプロセスによく使用されています。
R41冷媒のパラメーター
高純度HFC-41ガスは、シリコン化合物の薄膜を選択的にエッチングすることができるグリーンで効率的な新しいエッチングガスであり、半導体や電子製品のエッチングプロセスによく使用されています。
R41冷媒のパラメーター
| 名称:フルオロメタン;メチルフルオロメタンR41、-41、F-41 | フルオロメタンのフルオロメタン |
| 化学式:CH3F | サイズ:34 |
| モル質量:34g/mol | 三相点温度:-143.33℃ |
| 標準沸点:-78.31 ° C | 沸騰臨界温度:44.13℃ |
| 臨界圧力:5.897 MPa(絶対圧力) | 臨界密度:316.5kg/m3 |
| 温度は-142 ° C。 | CASコード:59 3 - 5 3 -3 |
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