パーフルオロブタジエン（C4F6）10kg

ペルフルオロブタジエン（C4F6、ヘキサフルオロブタジエン、ヘキサフルオロブタジエン、ヘキサフルオロブタジエン-1，3-ブタジエン）は、半導体製品のプラズマ誘電エッチングに使用される温室効果GWPが極めて低く、グリーンで環境に優しい高効率のドライエッチングガスとして、より高速なエッチング速度、より高い選択性、より高精度を有し、より高いアスペクト比のエッチングプロセスに適している。

パーフルオロブタジエン（C 4 F 6）は無色無臭の水に不溶性の気体であり、沸点は5.9℃である。パーフルオロブタジエンは、6個のフッ素原子と2個の炭素-炭素二重結合を有する共役オレフィンで、独自のF/C比により、従来使用されているパーフルオロ飽和フルオロカーボン系エッチングガスと比較してエッチング選択性、精度、アスペクト比が高く、100nm以下、さらにはさらに狭い電子回路をエッチングすることができる優れたエッチングガスです。また、C 4 F 6はC 4 F 8よりもフォトレジストと窒化ケイ素の選択比が高く、使用時にエッチングの安定性が向上し、エッチングレートと均一性が向上し、製品の優れた性能率が向上します。

背番号は162.0 3。
ODP 0。
GWP（100年）290
大気滞在時間（日） <1
沸点（° C）6
凍結点（℃） -130
臨界温度（℃） 139.6
臨界圧力（bar） 31.9
液体密度15℃、kg/l 1.44
蒸気密度（kg/m3，@ 15 ° C） 6.8
蒸気圧（25 ° C，bar）2.1 1
気化潜熱（融点、1.0 13 bar、kJ/kg）16 1.8
空気中の范囲% 7-73

PFC包装：
シリンダー型式はB10で、寸法14cm 83cm、内部容積10.1L、総重量14.7kg、ペイロード10kgである。ユーザーの要件に応じてパッケージをカスタマイズ可能