Перфторированный бутадиен (C4F6, гексафторированный бутадиен, гексафторированный-1,3-бутадиен) является очень низким парниковым эффектом GWP, экологически чистым высокоэффективным газом сухой эрозии, используемым для плазменной эрозии полупроводниковых продуктов, с более быстрой скоростью эрозии, более высокой селективностью и более точностью, более подходящим для процессов эрозии с высоким соотношением глубины и ширины.
Перфторированный бутадиен (C4F6) представляет собой бесцветный, бес запахный и нерастворимый в воде газ с температурой кипения 5,9°C.Перфторированный бутадиен является конюгированным олефином, содержащим шесть атомов фтора и две углеродные и углеродные двойные связи, и является отличным эрозирующим газом, который обладает более высокой селективностью эрозии, точностью и соотношением сторон по сравнению с традиционными эрозирующими газами ПФУ и ФУ, благодаря своему уникальному соотношению F / C, и может эрозировать электронные цепи менее 100 нм или даже более узкие.Кроме того, C4F6 обладает более высоким соотношением выборов для фоторезистента и нитрида кремния, чем C4F8, что может улучшить стабильность эрозии, скорость эрозии и однородность при использовании, тем самым улучшая производительность продукта.
Молекулярный вес 162,03
ОРП 0
290 ГВП (100 лет)
Время пребывания в атмосфере (день) < 1
Точка кипения (°C) 6
Точка зажижения (°C) -130
Критическая температура (°C) 139,6
Критическое давление (бар) 31,9
Плотность жидкости (15°C, кг / л) 1.44
Плотность паров (кг / м3, @ 15°C) 6.8
Давление паров (25°C, бар) 2.11
Латентная теплота испарения (при температуре плавления, кДж / кг при 1,013 бар) 161,8
Горячий диапазон в воздухе (% vol) 7 - 73
Упаковка с ПФБД:
Модель цилиндра B10, размер 14 см 83 см, внутренний объем 10,1 л, брутто вес 14,7 кг, полезная нагрузка 10 кг.×Упаковка может быть изменена по запросу пользователя
Задать вопрос о продукте
Рекомендуемые товары
