Perfluorobutadien (C4F6, Hexafluorobutadien, Hexafluor - 1,3 - Butadien) als ein Treibhauseffekt GWP sehr niedrig, umweltfreundlich hocheffizientes Trockentritzgas, für die Plasma-Medium - Ätzung von Halbleiterprodukten, mit einer schnelleren Ätzgeschwindigkeit, höherer Selektivität und höherer Präzision, besser geeignet für den hohen Tiefe-Seite - Verhältnis Ätzverfahren.
Perfluorobutadien (C4F6) ist ein farbloses, geruchloses und wasserunlösliches Gas mit einem Siedepunkt von 5,9 ° C. Perfluorobutadien ist ein konjugates Olefin, das sechs Fluoratome und zwei Kohlenstoff-Kohlenstoff - Doppelbindungen enthält, als ein ausgezeichnetes Ätzgas, aufgrund seines einzigartigen F / C-Verhältnisses, im Vergleich zu den traditionell verwendeten Perfluorobutadien und Fluorokarbon-Etzgas, hat Perfluorobutadien eine höhere Ätz-Selektivität, Präzision und Seitenverhältnis, kann weniger als 100nm oder sogar schmalere elektronische Leitungen Ätzen. Darüber hinaus hat C4F6 eine höhere Selektivität für Lichtwiderstand und Siliziumnitrid als C4F8, die bei der Verwendung die Ätzstabilität verbessern kann, die Ätzgeschwindigkeit und die Gleichmäßigkeit verbessern und somit die Produktqualität verbessern kann.
Molekülgewicht 162,03
ODP 0
290 GWP (100 Jahre)
Atmosphärische Aufenthaltszeit (Tage) < 1
沸点（℃）6
凝固点（℃） -130
临界温度（℃） 139.6
Kritischer Druck (bar) 31.9
液体密度（15℃，kg/l） 1.44
蒸汽密度（kg/m3,@15℃） 6.8
蒸汽压（25℃，bar） 2.11
Verdunstungs-Lotentwärme (bei Schmelzpunkt, bei 1,013 bar, kJ / kg) 161,8
brennbarer Bereich in Luft (% vol) 7 - 73
Perfluorobutadien-Verpackung:
Zylindermodell B10, Größe 14 cm× 83 cm, Innenvolumen 10,1 L, Bruttogewicht 14,7 kg, Nutzlast 10 kg. Die Verpackung kann je nach Anforderung des Benutzers geändert werden
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