Tetrafluorkohlenstoff (Tetrafluoromethan, Perfluorkohlenstoff, PFC - 14,Die R14Englisch: Carbon Tetrafluoride Tetrafluoromethane. Kohlenstofftetrafluorid gehört zu den fc-Stufen, die Ozonschicht nicht beschädigt, aber es gibt einen Treibhauseffekt; Kohlenstofftetrafluorid ist farblos, geruchlos und geruchlos, nicht brennbares komprimierbares Gas. leicht in Wasser löslich. Hochflüchtig, ist eine der stabilsten organischen Verbindungen, bei 900 Grad Celsius, nicht mit Stahl, Nickel, Wolfram, Molybdenum reagieren, nur bei der Temperatur des Kohlenstoffbogen langsam zersetzt, sehr stabil auf Wärme, chemische Eigenschaften weniger aktiv als Kohlenstofftetrachlorid.
Kohlenstofftetrafluorid (CF4) ist die derzeit größte Menge in der Mikroelektronik-Industrie Plasma Ätzgas, weit verbreitet für Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Silizium-Nitrid - Glas und Wolfram-Etzerei und andere Dünnschichtmaterialien verwendet, in der Oberflächenreinigung von elektronischen Geräten, Sonnenzellenproduktion, Lasertechnologie, Niedertemperatur-Kühlung, Gas-Isolation, Leckdetektionsmittel, Kontrolle der Weltraumrakete Haltung, Druckschaltungen in der Produktion von Dekontaminationsmitteln, Schmierstoffen und Bremsflüssigkeiten und andere Aspekte sind auch eine große Anzahl von Anwendungen. Aufgrund seiner sehr starken chemischen Stabilität kann CF4 auch in der Metallschmelz - und Kunststoffindustrie verwendet werden.
Die heutigen Merkmale und Entwicklungstrends der elektronischen Gase für die VLSI sind superrein, superrein, mehr verschiedene, mehrere Skala, die Länder, um die Entwicklung der Mikroelektronikindustrie des Landes zu fördern, legen mehr und mehr Wert auf die Entwicklung von speziellen elektronischen Gasen Produktionstechnologien. Derzeit hat CF4 mit seinem relativ niedrigen Preis den Markt für Ätzgase für lange Zeit inne und hat daher ein großes Entwicklungspotenzial.
Verpackung: 30kg, 320kg
Parameter von Tetrafluorid
| Bezeichnung: R14, FC - 14, Freon14, PFC - 14, Freon14 | Chinesischer Name: Tetrafluormethan, Kohlenstofftetrafluorid |
| Englischer Name: Tetrafluoromethane | Chemische Formel: CF4 |
| Molekülgewicht: 88 | 标准沸点:-128.05℃ |
| 临界温度:-45.64℃ | Krit ischer Dru ck : 3. 75 M Pa (abs olu te Dru ck) |
| Krit ische Di chte : 0,6 26 g / cm 3 | CAS - N ummer : 62 5. 7 |

