Тетрафторированный углерод (тетрафторированный метан, перфторированный углерод, ПФУ-14,R14Название на английском языке: Carbon Tetrafluoride Tetrafluoromethane.Тетрафторид углерода, принадлежащий к веществам группы fc, не разрушает озоновый слой, но оказывает парниковый эффект; он является бесцветным, бес запахом, бес запахом и несжимаемым газом.Микрорастворимый в воде.Высокая летучесть, является одним из самых стабильных органических соединений, при 900 градусов Цельсия, не реагирует с сталью, никелем, вольфрамом, молибдином, только медленно разлагается при температуре углеродной дуги, очень стабильным для тепла, химические свойства менее активны, чем тетрахлорметана.
Тетрафторид углерода (CF4) является наиболее широко используемым плазменным эрозирующим газом в микроэлектронике, широко используемым для эрозии кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, стекла фториума и вольфрама и т. д. тонкопленочных материалов, а также широко используемым в очистке поверхности электронных устройств, производстве солнечных батарей, лазерной технологии, низкотемпературном охлаждении, газовой изоляции, детектора утечки, контроле за положением космических ракет, дезагревающих материалов в производстве печатных схем, смазочных материалов и тормозной жидкости и т. д.Из-за своей высокой химической стабильности CF4 также может использоваться в металлургии и пластиковой промышленности.
В настоящее время характеристики и тенденция развития электронного газа, используемого в сверхмасштабных интегральных схем, являются сверхчистыми, сверхчистыми, многообразными и многомасштабными. Для содействия развитию национальной микроэлектронной промышленности, все большее внимание уделяется разработке технологии производства специальных электронных газов.В настоящее время CF4 уже давно занимает рынок эрозионного газа с его относительно низкой ценой, поэтому имеет большой потенциал для развития.
Размер упаковки: 30 кг, 320 кг
Параметры тетрафторуглерода.
| Название: R14, FFC-14, Freon-14, PFC-14, Freon14 | Название на китайском языке: тетрафторметан, тетрафторид углерода |
| Английское название: tetrafluoromethane | Молекулярная формула: CF4 |
| Молекулярный вес: 88 | Нормальная температура кипения: -128.05°C |
| Критическая температура: -45.64°C | Критическое давление: 3.75МПа (аматулярное) |
| Критическая плотность: 0.626g / cm3 | Номер CAS: 625.7 |

