Tétrafluorure de carbone

tétrafluorure de carbone (tétrafluorométhane, perfluorure de carbone, PFC - 14,R14Le nom anglais est Carbon Tetrafluoride Tetrafluoromethane. Le tétrafluorure de carbone est un gaz compressible incolore, inodore, inodore et incombustible, qui n'est pas dommage de la couche d'ozone, mais a un effet de serre. Légèrement soluble dans l'eau. Haute volatilité, est l'un des composés organiques les plus stables, à 900 degrés Celsius, ne réagit pas avec l'acier, le nickel, le tungstène, le molybdène, se décompose lentement seulement à la température de l'arc de carbone, est très stable à la chaleur, les propriétés chimiques sont moins actives que le tétrachlorure de carbone.

Le tétrafluorure de carbone (CF4) est le gaz de gravure au plasma le plus utilisé dans l'industrie de la microélectronique. Il est largement utilisé dans la gravure de films minces tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le verre de silicium-chlorure et le tungstène. Il est également largement utilisé dans le nettoyage de surface des dispositifs électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, la réfrigération à basse température, l'isolation des gaz, le détecteur de fuites, le contrôle de l'attitude de la fusée spatiale, le détergent, le lubrifiant et le liquide de frein En raison de sa stabilité chimique extrêmement forte, CF4 peut également être utilisé dans l'industrie de la métallurgie et des plastiques, etc.

Aujourd 'hui, les caractéristiques et la tendance de développement des gaz électroniques utilisés dans les circuits intégrés à très grande échelle sont ultra-pures, ultra-pures, multi-variétés et multi-échelles.Afin de promouvoir le développement de l'industrie de la microélectronique, les pays accordent de plus en plus d'attention au développement de la technologie de production de gaz électroniques spéciaux.À l'heure actuelle, le CF4 occupe le marché du gaz de gravure depuis longtemps avec son prix relativement bas, donc il a un grand potentiel de développement.

Taille d'emballage : 30kg, 320kg 

Paramètres de tétrafluorocarbone