Stickstofftrifluorid 4N-Klasse NF3

Stickstofftrifluorid (NF3) ist bei Normaltemperatur ein farbloses, geruchloses und stabiles Gas und ein starkes Oxidationsmittel. Stickstofftrifluorid in der Mikroelektronik-Industrie als ein ausgezeichnetes Plasma-Etritzgas, während der Ionen-Etritzung zu aktiven Fluor-Ionen, diese Fluor-Ionen für Silizium und Wolfram-Verbindungen, hochreine Stickstofftrifluorid hat eine ausgezeichnete Ätzgeschwindigkeit und Selektivität (zu Siliziumoxid und Silizium), es während der Ätzung, auf der Oberfläche des Ätzes keine Rückstände hinterlassen, ist ein sehr gutes Reinigungsmittel, während in der Chip-Herstellung, hochenergetische Laser in vielen Bereichen verwendet wird.

Elektronische Klasse Stickstoff-Trifluorid - Gas ist eine neue elektronische Chemikalien in den letzten Jahren entwickelt, die hauptsächlich für die Plasma-Eritzung und Reinigung von elektronischen Komponenten verwendet werden. Stickstofftrifluorid wird für die Ätzung von Silizium und Siliziumnitrid verwendet, hat eine höhere Ätzgeschwindigkeit und Selektivität und verbleibt keine Substanz auf der Oberfläche des geätzten Materials.

Hauptanwendungen von Stickstofffluorid:
I. Als Fluorquelle für hochenergetische chemische Lasergas verwendet.
Zweitens, als Ätzmittel und Reinigungsmittel in der Elektronikindustrie (IC).
III. Anwendung in der Solar-Photovoltaik - Industrie.
Weitere Anwendungen von NF3: Herstellung von Perfluorenzalzen, Verwendung als Füllgas zur Verlängerung der Lebensdauer und Helligkeit von Glühbirnen, Verwendung als Oxidationsmittel im Bergbau und in der Raketentechnologie usw.