Трифторид азота 4N NF3

Трифторид азота (NF3) является бесцветным, без запаха и стабильным газом при нормальной температуре, являющимся сильным окислителем.Трифторид азота в микроэлектронной промышленности, как отличный плазменный газ для эрозии, расщепляется в активные ионы фтора при ионной эрозии, эти ионы фтора для соединений кремния и вольфрама, высокочистый трифторид азота имеет отличную скорость эрозии и селективность (оксид кремния и кремния), он во время эрозии, не оставляет никаких остатков на поверхности эрозии, является очень хорошим моющим агентом, в то же время в процессе производства чипов, высокоэнергетических лазеров было много применяться.

Газ трифторид азота электронного класса является новым электронным химическим веществом, разработанным в последние годы, в основном используется для плазменной эрозии и чистки электронных компонентов.При использовании трифторида азота для эрозии кремния и нитрида кремния он обладает более высокой скоростью эрозии и селективностью и не оставляет никаких веществ на поверхности эрожаемого объекта.

Основные виды применения трифторида азота:
Используется в качестве источника фтора для высокоэнергетического химического лазерного газа.
Во-вторых, в качестве эрозионного агента и очистительного агента в электронной промышленности (IC).
Третье, применение в солнечной фотоэлектрической промышленности.
Другие виды применения NF3: производство перфроновой соли, использование в качестве наполнительного газа для увеличения срока службы и яркости ламп, использование в качестве окислителя в горнодобывающей и ракетной технике и т. д.