tetrafluoruro de carbono (tetrafluorometano, perfluoruro de carbono, PFC - 14,El R14Nombre en inglés: Tetrafluoruro de carbono Tetrafluoromethane. El tetrafluoruro de carbono (TCF) es un gas compresible incolor, inodor, inodoro, inflamable, que no daña la capa de ozono, pero tiene efecto invernadero. Ligeramente soluble en agua. Es altamente volátil, es uno de los compuestos orgánicos más estables, a 900 grados centígrados, no reacciona con acero, níquel, tungsteno, molibdeno, solo se descompone lentamente a la temperatura del arco de carbono, es muy estable al calor, y las propiedades químicas son menos activas que el tetracloruro de carbono.
El tetrafluoruro de carbono (CF4) es el gas de grabado de plasma más utilizado en la industria de microelectrónica, ampliamente utilizado en el grabado de materiales de película delgada como silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio, vidrio de silicio y tungsteno, etc. También se utiliza en la limpieza de superficies de dispositivos electrónicos, producción de células solares, tecnología láser, refrigeración a baja temperatura, aislamiento de gas, detector de fugas, control de actitud de cohetes espaciales, detergente, lubricante y líquido de freno en la producción de circuitos impresos, etc. Debido a su estabilidad química extremadamente fuerte, CF4 también se puede utilizar en la fundición de metales y la industria del plástico, etc.
Hoy en día, las características y la tendencia de desarrollo de los gases electrónicos utilizados en los circuitos integrados a gran escala son ultra puros, ultra puros, multivariedades y multiescala.Con el fin de promover el desarrollo de la industria microelectrónica nacional, cada vez más países prestan atención al desarrollo de la tecnología de producción de gases electrónicos especiales. En la actualidad, el CF4 ha ocupado el mercado de gases de grabado durante mucho tiempo a su precio relativamente bajo, por lo que tiene un amplio potencial de desarrollo.
Especificación de embalaje: 30Kg, 320kg
Parámetros de tetrafluoruro de carbono
| Nombre: R14, FC - 14, Freon14, PFC - 14, Freon14 | Nombre chino: tetrafluorometano, tetrafluoruro de carbono |
| Nombre completo en inglés: tetrafluoromethane | Fórmula química: CF4 |
| peso molecular: 88 | Punto de ebullición estándar: -128.05 °C |
| Temperatura crítica: -45.64 °C | Presión crítica: 3.75MPa (presión adiabática) |
| Densidad crítica: 0,626 g / cm3 | Número de CAS: 625.7 |
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