El perfluorobutadieno (C4F6, hexafluorobutadieno, hexafluoro - 1,3 - butadieno) es un gas de grabado en seco de alta eficiencia que tiene un GWP extremadamente bajo y respetuoso con el medio ambiente, y se utiliza para el grabado de plasma de productos semiconductores, con una velocidad de grabado más rápida, una mayor selectividad y una mayor precisión, y es más adecuado para el proceso de grabado de alta relación de profundidad.
El perfluorobutadieno (C4F6) es un gas incolor, inodoro e insoluble en agua con un punto de ebullición de 5,9 ° C. El perfluorobutadieno es una olefina conjugada que contiene seis átomos de flúor y dos dobles enlaces carbono-carbono.Como un excelente gas de grabado, debido a su relación F / C única, el perfluorobutadieno tiene una mayor selectividad de grabado, precisión y relación de aspecto en comparación con los gases de grabado tradicionales de perfluorocarbono y fluorocarbono, y puede grabar circuitos electrónicos menores de 100 nm o incluso más estrechos. Además, C4F6 tiene una mayor relación de selección de fotorresistencia y nitruro de silicio que C4F8, por lo que puede mejorar la estabilidad del grabado, la velocidad de grabado y la uniformidad durante el uso, mejorando así la tasa de calidad del producto.
Peso molecular 162.03
ODP 0
290 GWP (100 años)
Tiempo de residencia atmosférica (días) < 1
Punto de ebullición (°C) 6
Punto de congelación (°C) -130
Temperatura crítica (°C) 139.6
Presión crítica (bar) 31,9
Densidad líquida (15 °C, kg / l) 1.44
Densidad de vapor (kg / m3, @15 °C) 6.8
Presión de vapor (25 ° C, bar) 2.11
Calor latente de vaporización (en el punto de fusión, a 1.013 bar, kJ / kg) 161.8
Rango inflamable en aire (% vol) 7 - 73
Embalaje de perfluorobutadieno:
El cilindro de acero es modelo B10, tamaño 14 cm 83 cm, volumen interno 10.1 L, peso bruto 14.7 kg, carga útil 10 kg.× El paquete se puede cambiar de acuerdo con los requisitos del usuario.
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