tetrafluoruro di carbonio

tetrafluoruro di carbonio (tetrafluorometano, perfluoruro di carbonio, PFC - 14,R14Il nome inglese è Carbon Tetrafluoride Tetrafluoromethane. Il tetrafluoruro di carbonio appartiene alla classe di sostanze fc, non danneggia lo strato di ozono, ma esiste un effetto serra; il tetrafluoruro di carbonio è un gas compressibile incolore, inodore, inodore e incensibile. Microsolubili in acqua. Alta volatilità, è uno dei composti organici più stabili, a 900 gradi Celsius, non reagisce con acciaio, nichel, tungsteno, molibdeno, solo a temperatura di arco di carbonio lentamente decomposto, molto stabile al calore, proprietà chimiche meno attive del tetracloruro di carbonio.

Tetrafluoruro di carbonio (CF4) è l'attuale più grande quantità di gas di incisione al plasma nell 'industria della microelettronica, ampiamente utilizzato per l'incisione di silicio, diossido di silicio, nitruro di silicio, vetro di silicio e tungsteno e altri materiali a pellicola sottile, nella pulizia superficiale dei dispositivi elettronici, produzione di celle solari, tecnologia laser, raffreddamento a bassa temperatura, isolamento del gas, rilevamento di perdite, controllo dell' atteggiamento del razzo spaziale, decontaminante nella produzione di circuiti stampati, lubrificanti e liquidi freni, ecc. A causa della sua stabilità chimica molto forte, CF4 può anche essere utilizzato nell 'industria della fusione dei metalli e della plastica, ecc.

Oggi le caratteristiche e la tendenza di sviluppo del gas elettronico utilizzato nei circuiti integrati su larga scala sono ultra-puri, ultra-puri, multi-varietà, multi-scala, i paesi per promuovere lo sviluppo dell 'industria della microelettronica nazionale, prestano sempre più attenzione allo sviluppo di tecnologie di produzione di gas elettronici speciali. Attualmente, il CF4 ha occupato il mercato dei gas di etching per un lungo periodo con il suo prezzo relativamente basso, quindi ha un ampio potenziale di sviluppo.

Confezione: 30kg, 320kg 

Parametri del tetrafluoruro di carbonio