テトラフルオロカーボン

四フッ化炭素（テトラフルオロメタン、パーフルオロカーボン、PFC-14）R14は炭素テトラフルオライドテトラフルオロメタンの英名。四フッ化炭素はfc類物質に属し、オゾン層を破壊しないが、温室効果がある;四フッ化炭素は無色無臭無臭無臭不燃性の容易圧縮性ガスである。水に溶ける。揮発性が高く、最も安定な有機化合物の一つであり、900 ° Cで鋼、ニッケル、タングステン、モリブデンと反応しないで、炭素アーク温度でゆっくりと分解し、熱に対して非常に安定であり、化学的性質は四塩化炭素よりも不活性である。

四フッ化炭素（CF4）は、マイクロエレクトロニクス産業におけるプラズマエッチングガスの最大の使用であり、広くシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンシリカガラス、タングステンなどの薄膜材料のエッチングに使用され、電子デバイスの表面洗浄、太陽電池の生産、レーザー技術、低温冷凍、ガス絶縁、漏れ検出剤、宇宙ロケットの姿勢制御、印刷回路の生産における除染剤、潤滑剤、ブレーキ液などのアプリケーションも多数あります。その強い化学的安定性のため、CF4は金属製錬やプラスチック産業でも使用されます。

今日のV LSI電子ガスの特性と開発動向は、超純粋、超クリーン、多品種、多規模であり、各国は、マイクロエレクトロニクス産業の発展を促進するために、特殊な電子ガス生産技術の開発にますます注意を払っています。現在、CF4は比較的低価格でエッチングガス市場を長く独占しており、開発の可能性が高い。

包装の仕様：30、320kg 

四フッ化炭素パラメータ