رابع فلوريد الكربون (رباعي فلوريد الميثان، مركبات الكربون المشبعة بالفلور، PFC-14،R14الكربون Tetrafluoride Tetrafluoromethane.رابع فلوريد الكربون ينتمي إلى المواد fc ، وليس له أي ضرر على طبقة الأوزون ، ولكن هناك تأثير الدفيئة ؛ رابع فلوريد الكربون هو غاز عديم اللون ، عديم الرائحة ، عديم الرائحة ، غير قابل للاحتراق.يذوبان قليلا في الماء.تتطاير عالية ، واحدة من أكثر المركبات العضوية استقرارا ، في 900 درجة مئوية ، لا تتفاعل مع الصلب والنيكل والتنغستن والموليبودين ، فقط في درجة حرارة قوس الكربون تتحلل ببطء ، مستقرة جدا للحرارة ، والخصائص الكيميائية أقل نشاطا من رابع كلوريد الكربون.
رباعي فلوريد الكربون (CF4) هو أكبر غاز حفر البلازما في صناعة الإلكترونيات الدقيقة ، ويستخدم على نطاق واسع في حفر مواد الأغشية الرقيقة مثل السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون والزجاج والتنغستن والتنغستن ، وفي تنظيف سطح الأجهزة الإلكترونية ، وإنتاج الخلايا الشمسية ، وتكنولوجيا الليزر ، والتبريد في درجة حرارة منخفضة ، والعزل الغازي ، وكاشف التسرب ، والتحكم في موقف الصاروخ الفضائي ، ومواد التلوث في إنتاج الدوائر المطبوعة ، ومواد التشحيم وسائل الكابح.بسبب استقراره الكيميائي القوي للغاية ، يمكن استخدام CF4 أيضًا في صهر المعادن وصناعة البلاستيك.
خصائص واتجاهات التنمية في الدوائر المتكاملة فائقة النطاق والغازات الإلكترونية المستخدمة في اليوم هي فائقة النقاء ، فائقة النقاء ، متعددة الأصناف ، متعددة الحجم ، والبلدان لتعزيز تطوير صناعة الإلكترونيات الدقيقة في بلدانها ، تولي اهتماما متزايدا لتطوير تكنولوجيا إنتاج الغازات الإلكترونية الخاصة.في الوقت الحاضر ، يحتل CF4 سوق غازات الحفر لفترة طويلة بسعره المنخفض نسبيًا ، وبالتالي لديه إمكانات تطوير واسعة.
مواصفات التعبئة والتغليف: 30Kg ، 320kg
بارامترات رباعي فلوريد الكربون
| الاسم: R14، FC-14، Freon14، PFC-14، Freon14 | الاسم الصيني: رباعي فلوريد الكربون، رباعي فلوريد الميثان |
| الاسم بالانكليزية: tetrafluoromethane | الصيغة الكيميائية: CF4 |
| الوزن الجزيئي: 88 | نقطة الغليان القياسية: -128.05 °C |
| درجة الحرارة الحرجة: -45.64 °C | الضغط الحرج: 3.75MPa (الضغط المطلق) |
| الكثافة الحرجة: 0.626g / cm3 | رقم CAS: 625.7 |

