البيرفلور بوتادايين (C4F6، سداسي فلور بوتادايين، سداسي فلور-1،3-بوتادايين) باعتباره تأثير الدفيئة منخفض جدا GWP، غاز الحفر الجاف عالية الكفاءة الصديقة للبيئة، والتي تستخدم في منتجات أشباه الموصلات الحفر المتوسطة البلازما، مع معدل الحفر أسرع، وانتقائية أعلى ودقة أعلى، وأكثر ملاءمة لعملية الحفر عالية نسبة العمق والعرض.
البيوتادايين المشبع بالفلور (C4F6) غاز عديم اللون عديم الرائحة وغير قابل للذوبان في الماء ذو نقطة غليان 5.9 درجة مئوية.البيوتادايين المشبعة بالفلور هو الاوليفين المترافق الذي يحتوي على ستة ذرات فلور وارتباطين مزدوجين من الكربون والكربون. وباعتباره غاز حفر ممتاز ، بسبب نسبة F / C الفريدة ، مقارنة مع غازات الحفر المشبعة بالفلور والكربون المستخدمة تقليديًا ، فإن البيوتادايين المشبعة بالفلور لديه انتقائية حفر أعلى ودقة ونسبة عرض ، ويمكن أن يحفر دوائر إلكترونية أقل من 100 نانومتر أو حتى أضيق.وبالإضافة إلى ذلك، C4F6 لديه نسبة اختيار أعلى من C4F8 للمقاومة الضوئية ونيتريد السيليكون، عند الاستخدام يمكن تحسين استقرار الحفر، وتحسين معدل الحفر والتوحيد، وبالتالي تحسين معدل المنتج الممتاز.
الوزن الجزيئي 162.03
ODP 0
GWP (100 سنة) 290
مدة البقاء في الغلاف الجوي (يوم) <1
نقطة الغليان (°C) 6
نقطة التجميد (°C) -130
درجة الحرارة الحرجة (°C) 139.6
الضغط الحرج (bar) 31.9
كثافة السائل (15 °C، كجم/لتر) 1.44
كثافة البخار (kg/m3,@15°C) 6.8
ضغط البخار (25 °C، بار) 2.11
الحرارة الكامنة للتبخر (في نقطة الانصهار، 1.013bar، كيلو جيول/كغ) 161.8
نطاق الاشتعال في الهواء (%vol) 7-73
تغليف البيوتادايين المشبعة بالفلور:
نموذج الأسطوانة هو B10 ، والحجم 14cm 83cm ، والحجم الداخلي 10.1L ، والوزن الإجمالي 14.7kg ، والحمولة 10kg.×يمكن تغيير التعبئة والتغليف وفقا لمتطلبات المستخدم
طرح سؤال حول المنتج
منتجات ذات صلة
