ثلاثي فلوريد النيتروجين 4N NF3 الصف

ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) هو غاز عديم اللون ، عديم الرائحة ، مستقرة في درجة الحرارة الطبيعية ، وهو مؤكسد قوي.ثلاثي فلوريد النيتروجين في صناعة الإلكترونيات الدقيقة باعتباره غاز البلازما الحفر ممتاز ، في الحفر الأيوني ينقسم إلى أيون الفلور النشط ، هذه أيونات الفلور للسيليكون ومركبات التنغستن ، ثلاثي فلوريد النيتروجين عالي النقاء لديه معدل الحفر الممتاز وانتقائية (أكسيد السيليكون والسيليكون) ، فإنه في الحفر ، لا يترك أي بقايا على سطح المواد الحفرة ، وهو عامل تنظيف جيد للغاية ، في الوقت نفسه في تصنيع رقاقة ، ليزر عالية الطاقة.

غاز النيتروجين ثلاثي فلوريد الدرجة الإلكترونية هو نوع جديد من المواد الكيميائية الإلكترونية التي تم تطويرها في السنوات الأخيرة ، ويستخدم أساسا في حفر البلازما والتنظيف للمكونات الإلكترونية.عندما يستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين للسيليكون ونيتريد السيليكون للنقش ، لديه معدل حفر وانتقائية أعلى ، ولا يبقى أي مادة على سطح المادة المحفوفة.

الاستخدامات الرئيسية لثلاثي فلوريد النيتروجين:
أولاً ، يستخدم كمصدر للفلور لغاز الليزر الكيميائي عالي الطاقة.
ثانيا، كعوامل التآكل والتنظيف في الصناعة الإلكترونية (IC).
ثالثا، تطبيقها في الصناعة الكهروضوئية للطاقة الشمسية.
استخدامات أخرى: إنتاج ملح البيرفلورثين، واستخدامها كغاز ملء لزيادة عمر المصابيح وسطوعها، وكعامل مؤكسد في التعدين وتكنولوجيا الصواريخ، إلخ.