Le perfluorobutadiène (C4F6, hexafluorobutadiène, hexafluoro - 1,3 - butadiène) est un gaz de gravure à sec efficace avec un très faible GWP à effet de serre et une protection de l'environnement. Il est utilisé pour la gravure au plasma de produits semi-conducteurs. Il a une vitesse de gravure plus rapide, une sélectivité plus élevée et une précision plus élevée, et convient mieux au processus de gravure à haute profondeur.
Le perfluorobutadiène (C4F6) est un gaz incolore, inodore et insoluble dans l'eau, avec un point d'ébullition de 5,9 ° C. Le perfluorobutadiène est un type d'oléfine conjuguée contenant six atomes de fluor et deux doubles liaisons carbone-carbone. En tant que gaz de gravure excellent, en raison de son rapport F / C unique, le perfluorobutadiène a une sélectivité de gravure, une précision et un rapport d'aspect plus élevés que les gaz de gravure traditionnels perfluorobutadiène et fluorocarbone, et peut graver des circuits électroniques inférieurs à 100 nm ou même plus étroits. En outre, le C4F6 a un rapport de sélectivité plus élevé pour la résistance photosensible et le nitrure de silicium que le C4F8, ce qui peut améliorer la stabilité de la gravure, le taux de gravure et l'uniformité lors de l'utilisation, améliorant ainsi le taux de qualité du produit.
Poids moléculaire 162,03
ODP à 0
GWP (100 ans) 290
Temps de séjour dans l'atmosphère (jour) < 1
Point d'ébullition (°C) 6
Point de gel (°C) -130
Température critique (°C) 139,6
Pression critique (bar) 31.9
Densité du liquide (15 °C, kg / l) 1,44
Densité de vapeur (kg / m3, @ 15 °C) 6,8
Pression de vapeur (25 ° C, bar) 2,11
Chaleur latente de vaporisation (kJ / kg à 1,013 bar au point de fusion) 161,8
Plage de flammabilité dans l'air ( % vol) 7 - 73
Emballage en perfluorobutadiène :
Le cylindre est B10, la taille est de 14 cm 83 cm, le volume intérieur est de 10,1 L, le poids brut est de 14,7 kg et la charge utile est de 10 kg.× L'emballage peut être personnalisé et modifié en fonction des besoins des utilisateurs
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