El hexafluoroisobuteno (2 - trifluorometil - 3,3 - trifluoropropeno; HFIB) es un nuevo gas de grabado en seco ecológico con bajo GWP, que se puede aplicar al grabado de la etapa frontal de semiconductores.
Número de CAS 382 - 10 - 5
Fórmula molecular C4H2F6
Peso molecular 164,05
Punto de ebullición (101.325 kPa, °C) 14.5
Solubilidad (23 °C, g / L) 0,23
Densidad (101.325 kPa, g / cm3) 1.39
Especificación de embalaje de HFIB: 4.64L / 10.2L / 44L cilindro
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