L'hexafluoroisobutène (2 - trifluorométhyl - 3,3,3 - trifluoropropène ; HFIB) est un nouveau gaz de gravure à sec vert et respectueux de l'environnement avec un faible GWP, qui peut être appliqué à la gravure de la section avant des semi-conducteurs.
Numéro CAS 382 - 10 - 5
Formule moléculaire : C4H2F6
Poids moléculaire 164,05
Point d'ébullition (101,325 kPa, °C) 14,5
Solubilité (23 °C, g / L) 0,23
Densité (101,325kPa, g / cm3) 1,39
Spécifications d'emballage : 4.64L / 10.2L / 44L cylindre en acier
Poser une question sur le produit
Remarque Le contenu du commentaire ne prend pas en charge le code HTML!
