ヘキサフルオロイソブチレン（2-トリフルオロメチル-3，3，3-トリフルオロプロペン;HFIB）は、低GWPのグリーンで環境に優しい新しいドライエッチングガスとして、半導体の前段エッチングに応用することができます。
CAS番号38 2 -10-5
分子式C 4 H 2 F 6
サイズは16 4.0 5
沸点（101.325kPa、℃） 14.5
溶解度23℃、g/L 0.23
密度101.325kPa、g/cm3 1.39
ヘキサフルオロイソブチレン包装仕様：4.64L/10.2L/44Lシリンダー
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