يمكن استخدام المبرد R116 (Hداسي فلور إيثان ، Perfluoroethane ، C2F6) في تقنية الحفر متعددة الوظائف ، والتي توجد بشكل شائع في إنتاج أشباه الموصلات.ويمكن استخدامه في السيليكيدات المعدنية وأكسيدات المعادن والحفر الانتقائي بالنسبة للمركبات المعدنية.وبالإضافة إلى السيليكون، فإنه يستخدم أيضا لحفر ثاني أكسيد السيليكون على السيليكون. HFHC كمادة تآكل جافة لديه ميزة التآكل الجانبي الحافة ضئيلة للغاية ، ومعدل التآكل العالي والدقة العالية ، ويمكن أن تلبي بشكل جيد متطلبات عملية تصنيع عرض الخط الصغير ، ويستخدم على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
معايير المبردات R116
| الاسم: R116, FC-116 | الاسم الصيني: سداسي فلورو إيثان، الكربون الهيدروفلورية الالكترونية الصف، البيرفلور إيثان، الفلوريون 116 |
| الاسم بالانجليزية: hexafluoroethane | الصيغة الكيميائية: CF3CF3، C2F6 |
| الوزن الجزيئي: 138 | نقطة الغليان القياسية: -78 °C. |
| درجة الحرارة الحرجة: 20 °C | الضغط الحرج: 3MPa (الضغط المطلق) |
| الكثافة الحرجة: 0.613g / cm3 | CAS رقم: 76-16-4 |
طرح سؤال حول المنتج
ملاحظة محتوى التعليق لا يدعم كود HTML!
