Le fluide frigorigène R116 (hexafluoroéthane, perfluoroéthane, C2F6) peut être utilisé dans une technique de gravure multifonctionnelle couramment utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour la gravure sélective des silicides métalliques et des oxydes métalliques et par rapport à leurs substrats métalliques. Il est également utilisé pour graver le dioxyde de silicium sur le silicium. En tant que corrosif sec, l'hexafluoroéthane a les avantages d'une faible érosion latérale des bords, d'un taux de gravure élevé et d'une précision élevée, et peut répondre aux exigences du processus de fabrication de la largeur de ligne relativement petite.
R116 Paramètres du réfrigérant
| Nom : R116, FC - 116 | Nom chinois : HFET, Fluorocarbone de qualité électronique, Perfluoroéthane, Freon116 |
| Nom complet : hexafluoroéthane | Formule moléculaire chimique : CF3CF3, C2F6 |
| poids moléculaire : 138 | Point d'ébullition standard : -78 °C |
| Température critique : 20 ° C | Pression critique : 3 MPa (pression absolue) |
| Densité critique : 0,613 g / cm3 | Numéro CAS : 76 - 16 - 4 |
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